שמירת לחות בתעשיית ייצור המוליכים-למחצה

0 תגובות   יום ראשון, 6/11/11, 09:03

בקרת לחות בתהליכי הייצור של מוליכים-למחצה משמשת על מנת לעצור הצטברות של מטעני חשמל-סטטי, למנוע שינויים ממידיים בפני השטח של תבנית הסיליקון ולצנן את סביבת הייצור.

כל מטען חשמל סטטי לא-מבוקר המופיע במהלך הייצור יכול להזיק לפני השטח של המוליכים-למחצה ולהפחית את תנובת הייצור בצורה משמעותית. תהליך הייצור מחולל חום, וזה בתורו מייבש את האוויר. מכיוון שאוויר יבש מקדם הצטברות של מטענים סטטיים, מפזרי אדים משמשים על מנת לבקר את האוויר ולהביא אותו ללחות יחסית (rH) של כ-55%. דבר זה מעודד את החשמל הסטטי להתפרק באופן טבעי וכך להסיר את הסיכון לנזקים לפני השטח של המוליכים-למחצה.

יחד עם זאת, פני השטח המודפסים של תבנית הסיליקון גם הם רגישים מאוד ללחות. צורתם של הערוצים המוליכים שעל פני השטח יכולה להתעוות במהלך הייצור במידה וייחשפו לרמות לחות לא מתאימות. לפיכך, יש להקפיד על בקרה צמודה של הלחות, עם סטייה של ±0.1°C בלבד, בכל הליך האורך למעלה מ-40 דקות. כל סטייה הגדולה מכך תגרום לערוצים המוליכים לנזק ותביא להרס של המוליך-למחצה.

מפזרי אדים בקיטור, דוגמת Neptronic SKE, יכולים לספק בקרה צמודה זו כאשר הם משמשים לצימוד עם מסנן המים PureFlo RO.

למרות שהקיטור מספק בקרה צמודה במיוחד, ניתן להשתמש גם במפזרי אדים מומחים המרססים מים קרים, דוגמת מערכת ה-JetSpray, שכן האידוי של הרסס יוצר אפקט צינון שאינו כרוך בשינוי החום. עובדה זו עוזרת להוריד את הטמפרטורה במהלך הייצור ולהפחית את מידת הקירור הנדרשת.

חברת א.מערכות מציעה מערכות פיזור-אדים לפי-הזמנה של JetSpray עבור שימושים בתעשיית המוליכים-למחצה, אשר משלבים שסתום בקרה מזערית המספק את הדיוק ואת הבקרה הקבועה הנדרשת ליישום זה. מערכת זו אינה מספקת רק צינון של האווירה אלא גם עלויות הפעלה נמוכות משמעותית מאשר קיטור, שכן היא עושה שימוש במים קרים.

מאמר זה נכתב ע"י יונתן רבה בעל ניסיון וידע רב בתחום החימום והמיזוג לחברות מפעלים גני אירועים ועוד... 
 יתרה מכך החברה גם משכירה ומשווקת את מוצריה בעסקאות ליסינג לתקופות קצרות וארוכות במחיר לכל כיס  
 טלפון 0508330888 בקרו באתרינו החדש : http://www.hcsystem.co.il/

דרג את התוכן: